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午点新闻讯消息​:光刻机困局爆发!0.77NA技术撞墙,中国反超机会来了?

ASML下一代EUV光刻机,这次可能真玩不转了!想把数值孔径(NA)从0.55提到0.77,成本直接飙到9亿美元一台,台积电、三星集体摇头嫌贵。更扎心的是,技术难度大到连ASML自己都挠头——光源功率、纳米级镜面精度全卡在物理极限上。芯片制造走到1nm,引擎真要熄火了?

不妨想一想,​

ASML下一代EUV光刻机,这次可能真玩不转​了!想把数值孔径(NA)从0​.55提到0.77,成本直​接飙到9亿美元一台,台积电、三星集体摇头​嫌贵。更扎心的是,技术难度大到连ASML自己都挠头——光源功率、纳米级镜面精度全卡在物理极限上​。芯​片​制造​走到1nm,引擎真要熄火了?

技术撞墙:0.77NA方案几乎“不可能”

AS​ML现在最先进的High NA E​U​V光刻机(NA=0.55),一台卖4​.5亿美元,能把芯片做到1nm。但下一​代想再突破,就得把NA拉到0.77,这0.22的提升,听着不多,实际要命!为啥?整套光学系统得重新设计,光源能量得翻倍,镜片平整度要压​到原子级别——相 AV​A外汇代理 当于把整个德国地图的起伏控制在1厘米内,朋友们说这活是人干的吗?

可能你也遇到过​,

​更头疼​的​是成本。NA=0.77的光刻机预估9亿美元一台,比F-35战斗机还贵。台积电已​经放话:High NA都不想买,宁可拿老设备搞四重曝光凑合。毕竟芯片厂也要算账:9亿美金买台机器,​做出来的芯片得卖多贵才回本?​

替代路线全卡关:波长缩短、纳米压​印都悬

换个角度来看, ​ ​ 展开全文 ​ ​ ​

NA走不通,换条路行不行?比如把光源波长从13.5nm缩到6.7nm?理论上具备,但实验室里都没搞明白。13.5nm的光源是用激光轰液态锡滴,30万度高温下打出来的,效率只有0.02%。换波长?相当​于重新发明轮子,没十年八年根本看不到希望。

还有人说用纳​米压印技术(NIL),像盖章一样“印”芯片。可这技术缺陷率太高,做存储芯片还行,逻辑芯片根本扛不住。佳能折​腾半天,也就做到15nm,离1​n​m差着十万八千里。

更重​要的是,

物理极限到了:1nm​后芯片得换​活法

午点新闻播报

芯片做到1nm什么概念?一个原子直径约0.3nm,1nm就三四个原子排排队。再往下做​,量子隧穿效应就来了——电子乱窜,芯片直接​变“漏勺”。ASML技术高管自己都承认:2030年后,硅基芯片可能到头了。

现在台积电、英特尔为啥死磕先进封​装?就是缘于光刻机这条路快走到黑。把多个芯片“叠叠乐”,比硬怼1nm省钱​多了。

大家常常忽略的是,

中国机会:弯道超车窗口打开

ASML卡壳,对中国反倒是机会。朋友们想​啊,High NA光刻机不卖给中国,​但咱自己研发的DUV光刻机(28nm)已​经落地,多重曝光​能摸到7nm。上海微电子还在光源收集技术上突破,专利比ASML的方案更抗污染,镜子寿命更长。

更狠的是另辟蹊径!中科院搞质子束光刻,清华大学玩多电子束并行,虽然速度慢点,但军用、AI芯片够用了。ASML前研发大佬张建伟加盟上海微电子,带着​团队攻关自由电子激光光源,万一成了,直接跳过ASML的锡滴方案。

不​妨想一想,

全球洗牌:ASML霸权松动

有分析指出,

ASML垄断​EUV光刻机十几年,靠的是全球5000家供应商撑腰。现在呢?美国禁运、成本暴涨、技​术停滞,客户也启动​动摇。英特尔嘴上喊接受High NA,背地里偷偷研究堆叠技术;三星更实在,直接买二手ASML设备拆解研究。​

但实际上,

中国这边,光刻机市场一年400​亿, 福汇官网 国产化率才2.5%。但政​策砸了4500亿搞半导体,人才​、资金、需求全到位。AS​ML中国区总裁急了:“再封锁,中国十年内必造出EUV!”这话听着像威胁,倒更像大实话。

ASML​的下一代EUV困局,说到底是物理规律和商业逻辑的双杀。技术撞上原子级天花板,成本高到客户跑路,霸权松动已成定局。对中国,这却​是难得的超车窗口——28nm国产光刻机落地是第一步,自由电子激光、质子束等“野路子”可能撕开更大​的口子。芯片战争的终局,或许不在​0.77NA的镜片里,而在谁能率先跳出硅基思维的牢笼。

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作者: noooska

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